U盘礼品订做工厂:DRAM制程升级,并将用上EUV设备

作者: 礼品U盘工厂 优盘定制厂家 时间:2019-06-15 08:01 来源:U盘礼品订做工厂

三星暂定2019年11月开始量产采用EUV技术的1znm DRAM,量产初期将在华城17产线,不过由于与晶圆代工事业部共享EUV设备,所以初期使用量不大,之后平泽工厂也会启动EUV DRAM量产。三星这一举措可助力降低DRAM生产成本,提高市场竞争力。自2019年以来,消费类NAND Flash价格跌幅高达30%,持续下滑的市场价格给存储厂商带来了不少困扰,再加上近日DRAM市场也陷入杀价战,让企业运营再现危机。

另一方面,三星、美光等在2019上半年宣布DRAM技术向1znm工艺发展,下半年将陆续进入量产阶段,然而随着制程的微缩,导致DRAM良率低下,出现瑕疵品的几率增加,若采用EUV设备,可提高DRAM良率。EUV制程采用波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻,相较于将蚀刻液喷洒在半导体表面,利用蚀刻液与半导体基底化学反应的DUV,蚀刻的各向异性明显改善,对于精确度要求较高的集成电路,EUV使电路分辨率和良率得到极大提升。

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